本设备是补充了现有的直线物流方式的缺点,可以对应任何直线或是曲线的物流
 利用 Magnet非接触式的设备,可以更灵活运用下部空间
安装在Fab內顶棚 ,主要移送Cassette的System.
设备主要有运送用Vehicle, 主行用 Rail, 曲线用 Rail, 上部固定用Hanger, 为美观外部的Cover 等构成.